日本信號在“微機械/MEMS展”上展出了外形尺寸約為90mm×55mm×20mm,相當于香煙盒大小的SVGA(分辨率:800×600像素)小型彩色投影機。上屆展會該公司曾展出過相同分辨率的試制品,但外形尺寸約為180mm×120mm×50mm,相當于飯盒大小。此次,通過縮小透鏡等光學系統(tǒng)以及掃描RGB三色激光的MEMS掃描儀的尺寸,使投影機體積縮小到了原來的約1/8。不僅尺寸縮小,圖像質(zhì)量進步也很顯著,由此讓人感覺到,基于MEMS掃描儀的小型投影機即將成為現(xiàn)實。
此次的試制品得到光學設(shè)備廠商的幫助,自主設(shè)計了透鏡等光學部件。例如,作為對半導體激光器射出的光進行應變補償?shù)睦忡R,采用了該公司試制的面向投影機的專用品。由此,相對上次展出的試制品,藍色激光的光學距離縮短了約1/4。
另外,綠色激光的光源非此前的二極管泵浦固體激光(Diode Pumping Solid State:DPSS)而采用了半導體激光。由于激光本身采用了可高速調(diào)制的半導體激光,因此無需在采用DPSS時所配備的聲光調(diào)制器(Acoustic Optical Modulator:AOM)。
該試制品還通過縮小MEMS掃描儀和調(diào)整電磁驅(qū)動磁鐵的位置而進一步實現(xiàn)了MEMS掃描儀模塊的小型化。在水平方向和垂直方向掃描激光的2個MEMS掃描儀的尺寸均為10mm×10mm×5mm。而上次試制品的MEMS掃描儀的尺寸分別為23mm×14mm×25mm和10mm×15mm×4.6mm。另外,磁鐵的配置位置不似以往位于硅底板的外側(cè),而改在了硅底板的上部。
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文章來源:日經(jīng)BP社